| 摘要 |
프로브 카드의 취급을 용이하게 행할 수 있고, 또한 소직경화(소형화)한 프로브 카드에도 대응할 수 있는 프로브 카드 케이스 등을 제공한다. 프로브 카드를 수납하기 위한 프로브 카드 케이스로서, 상기 프로브 카드를 미리결정된 위치에 배치 가능한 제1 케이스 부재와, 상기 제1 케이스 부재의 상측에 감합 가능하고, 상기 프로브 카드를 고정하기 위한 카드 고정 기구를 갖는 제2 케이스 부재와, 상기 제1 케이스 부재와 상기 제2 케이스 부재를 고정하기 위한 케이스 고정 기구를 구비하고, 상기 프로브 카드를 상기 프로브 카드 케이스의 내부에 수납하고, 또한 상기 제1 케이스 부재와 상기 제2 케이스 부재를 고정한 상태로 반송 가능함과 함께, 상기 프로브 카드를 상기 제2 케이스 부재에 고정한 상태로, 상기 제2 케이스 부재와만 함께 상기 프로브 카드를 반송 가능한 것을 특징으로 한다. |
