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Transfereinrichtung für Substrate, insbesondere in unter Reinraum-, Schutzgas- oder Vakuumbedingungen arbeitenden, modular aufgebauten Bearbeitungsanlagen für scheibenförmige Substrate (16) einsetzbare Transfereinrichtung, mit einem Transportwagen (7), der eine über ein Fahrwerk (9) getragene, Reinraum-, Schutzgas- oder Vakuumbedingungen gewährleistende Transferkammer (3) aufweist, die in Hochrichtung zum Fahrwerk (9) auf eine jeweilige Andockhöhe einer Andockstation (2) über eine Hubvorrichtung höhenverstellbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Hubvorrichtung durch eine die Transferkammer (3) abzustützende Federabstützung und eine hierzu parallel arbeitende, an der Andockstation vorgesehene Hubeinrichtung (66) gebildet ist, wobei die Transferkammer (3) über dem gesamten Hubweg auf die Andockhöhe über die Federabstützung und die Hubeinrichtung (66) abgestützt ist, derart, dass die Hubeinrichtung (66) jeweils nur eine Teillast von Transferkammer (3) und Transportwagen (7) zu tragen hat und dass die Transferkammer (3) in ihrer Andockhöhe quer zur Hubrichtung über Stellmittel auf eine dichtende Andocklage zur Andockstation (2) beaufschlagt ist. |
