发明名称 保管棚
摘要 耐荷重を確保しつつ、振動を低減できる保管棚を提供する。保管棚1は、FOUP100を載置する載置部20a〜20dと、載置部20a〜20dを支持する枠部10とを備え、載置部20a,20cは、枠部10に第1弾性体40,41を介して配置されたフレーム22a,22cと、フレーム22a,22cに第2弾性体60,61を介して配置されると共に、FOUP100が載置される棚板24とを備える。
申请公布号 JPWO2014126106(A1) 申请公布日期 2017.02.02
申请号 JP20150500260 申请日期 2014.02.12
申请人 村田機械株式会社 发明人 長峰 翔平
分类号 H01L21/673;B65G49/00 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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