| 摘要 |
前処理手段と、装置入口排ガスと水を加熱する第１加熱器２２１と、触媒により過弗化物を加水分解して酸性ガスを含む分解ガスを生成する第２加熱器２２２と、装置入口排ガスと分解ガスとの間で熱交換を行なう熱交換器２３１と、分解ガスから酸成分を乾式除去する酸成分除去装置２３２と、粉末トラップ２３７と、を備え、前処理手段および第１加熱器２２１は、上方から見て矩形領域の内部の矩形領域の一方の長辺側に沿い順に配列し、第２加熱器２２２、酸成分除去装置２３２および粉末トラップ２３７は、上方から見て矩形領域の内部であり矩形領域の他方の長辺側に沿い、前処理手段および第１加熱器２２１が配列する順とは逆順でそれぞれ配列する過弗化物の処理装置。 |
