| 摘要 |
【課題】エッチングにおける配線部の幅の細りを低減し、配線部の長さ又は電極部の面積の違いによる幅のばらつきを抑制する製造方法を提供する。【解決手段】基材２１の入力領域１５に形成された複数の電極部２２と、周囲の非入力領域１６に設けられた複数の配線部とを有する入力装置の製造方法であって、複数の配線部２９の１つである第１配線部に対応する第１配線積層構造部は、第１配線積層構造部の配線金属層５２２の露出面積を増大させて、複数の配線部の他の１つである第２配線部に対応する第２配線積層構造部の配線金属層の露出面積に対する第１配線積層構造部の配線金属層の露出面積の比を１に近づける露出面積調整部分を備える。金属層エッチング工程において露出面積調整部分の配線金属層をエッチングすることにより、工程後の第１配線積層構造部の配線金属層の幅を、金属層エッチング工程後の第２配線積層構造部の配線金属層幅に近づける。【選択図】図９ |
