| 摘要 |
【課題】 効率的に液体を加熱し、製造工程における発熱抵抗層の表面の変質を抑制することが可能な液体吐出ヘッド用基板を提供する。【解決手段】 蓄熱層と、前記蓄熱層の表面から裏面へ向かって延びる一対の電極と、前記一対の電極と前記蓄熱層の前記表面とに接する発熱抵抗層と、前記発熱抵抗層を被覆する第１の被覆層と、が積層された液体吐出ヘッド用基板の製造方法は、前記発熱抵抗層と前記第１の被覆層とを有する基板に設けたマスクを用いて前記発熱抵抗層と前記第１の被覆層とをエッチングする工程と、前記マスクを除去する工程と、前記発熱抵抗層の端部を被覆する第２の被覆層を設ける工程と、をこの順に有する。【選択図】 図２ |
