| 摘要 |
【課題】液体材料を貯留する容器へ供給される圧縮気体の圧力変動を抑え、吐出量のばらつきの問題を解決することができる吐出装置の提供。【解決手段】液体材料を貯留する貯留容器と、液体材料を吐出する吐出口と、外部の圧縮気体源から供給された圧縮気体を所望の圧力に調圧する圧力制御弁と、圧力制御弁と貯留容器との連通を確立または遮断する吐出弁と、吐出弁の動作を制御する制御装置と、圧力制御弁と吐出弁とを接続する第一の配管と、吐出弁と貯留容器とを接続する第二の配管と、を備える液体材料吐出装置において、さらに、前記第一の配管から分岐する第三の配管と、前記第三の配管に接続されたリーク機構とを備え、前記リーク機構が、前記圧力制御弁により調圧された圧縮気体の一部を外部に排出する液体材料吐出装置及びその塗布装置。【選択図】図１ |
