发明名称 ウェブベース化学浴析出装置
摘要 ウェブ上の流体混合物から層を形成するための方法及びシステムが提供される。本システムは、ウェブ上に流体混合物を送達するための流体送達装置を含む。流体送達装置は、カスケードデバイスと化学物質ディスペンサデバイスとを含む。本システムはまた流体攪拌装置も含み、この流体攪拌装置は、ウェブ上に位置付けられる少なくとも1つの送風機を備え、層が形成されている間、この少なくとも1つの送風機が流体混合物に接触することなく、ウェブ上の流体混合物を攪拌する流れパターンを生成するように構成される。本システムは更に、すすぎデバイスと吸引デバイスとを有する流体除去装置を含む。すすぎデバイスは、ウェブ上にすすぎ流体を送出するように構成される。吸引デバイスは、すすぎ流体と、層の形成後にウェブ上に残っている流体混合物の残存部分とを吸引力によって除去するように構成される。【選択図】図6
申请公布号 JP2017503918(A) 申请公布日期 2017.02.02
申请号 JP20160538750 申请日期 2014.12.19
申请人 ヌボサン,インコーポレイテッド 发明人 ブルース・ハットマン;プレストン・クローバー;デニス・ホラーズ;アーサー・シー・ウォール;ロッキー・テイラー;ガン・グラント・ペン
分类号 C23C20/08;H01L31/0749;H01L31/18 主分类号 C23C20/08
代理机构 代理人
主权项
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