真空機

摘要

【課題】瞬時に真空空間を作成することが出来る機器、特に電子顕微鏡の試料室内を瞬時に真空にすることが出来る機器を提供する。【解決手段】各々がピストンロッド及びピストンを備える第１のエアシリンダ２及び第２のエアシリンダ３を備え、第１のエアシリンダ及び第２のエアシリンダは同じ筒長さを有し、第１のエアシリンダ及び第２のエアシリンダのピストンロッド４、５が互いに連結され、第２のエアシリンダと試料室９の間に、逆止弁１０が設けられていることからなる。【選択図】図１