发明名称 モノリシックメッシュ支持型EUV膜
摘要 【課題】モノリシックメッシュ支持型EUV膜を提供する。【解決手段】本出願は、EUV透過式支持メッシュ及び同支持メッシュの製造方法を教示する。【選択図】図1B
申请公布号 JP2017504080(A) 申请公布日期 2017.02.02
申请号 JP20160566848 申请日期 2014.12.29
申请人 ラクセル コーポレーション 发明人 レアソン,ブルース;グローブ,デイビッド;ロペス,ハイジ;エアーズ,トラビス
分类号 G03F1/62;G03F1/22 主分类号 G03F1/62
代理机构 代理人
主权项
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