| 摘要 |
【課題】検査工程におけるヨーレートの検査精度をより高める。【解決手段】検査工程では、ヨーレートセンサ装置１に備えた演算装置３にヨーレートセンサ２の検出結果を伝え、測定装置５に伝える前に演算装置３で所定期間中の角速度の積分値を演算することでターンテーブル４の回転角度を取得する。そして、所定期間経過後に、ターンテーブル４の回転角度のデータを測定装置５に伝える。これにより、演算装置４で、間引き処理を行っていない詳細な角速度のデータに基づいてターンテーブル４の回転角度を演算できることから、正確な回転角度を取得することが可能となり、検査工程における検査精度を高めることが可能となる。【選択図】図１ |
