Ｍｏ−Ｗ酸化物スパッタリングターゲット、及び、Ｍｏ−Ｗ酸化物スパッタリングターゲットの製造方法

摘要

【課題】組成の均質性に優れ抵抗率のばらつきが少ないＭｏ−Ｗ酸化物膜を成膜可能なＭｏ−Ｗ酸化物スパッタリングターゲット、及び、Ｍｏ−Ｗ酸化物スパッタリングターゲットの製造方法の提供。【解決手段】Ｗを３２原子％以上４０原子％以下、Ｍｏを８原子％以上１０原子％以下含有し、残部がＯ及び不可避不純物からなる組成を有し、Ｘ線回折において、ＷＯ2の回折ピーク、Ｗの回折ピーク及びＭｏの回折ピークを有するとともに、Ｗ18Ｏ49の回折ピーク及びＷＯ3の回折ピークを有さないＭｏ−Ｗ酸化物スパッタリングターゲット。【選択図】図１