| 摘要 |
광 계측 장치는 시료가 배치된 적분구 내로 여기광을 입력하여, 여기광을 소정의 빔 단면으로 시료에 조사시키고, 적분구로부터의 계측광을 광 검출기로 검출하여 시료의 강도 데이터를 취득한다. 광 계측 장치는 보정 데이터가 기억된 기억부와, 시료의 강도 데이터 및 보정 데이터에 기초하여 시료의 광특성을 산출하는 광특성 산출부를 구비한다. 보정 데이터는 제1 광흡수 부재에 대해서 여기광을 소정의 빔 단면으로 조사하여 검출한 제1 보정용 강도 데이터와, 제2 광흡수 부재에 대해서 여기광을 소정의 빔 단면으로 조사하여 검출한 제2 보정용 강도 데이터에 기초하여 산출된다. 소정의 빔 단면은 제1 광흡수 부재로 덮임과 아울러, 제2 광흡수 부재를 덮는다. |
