| 摘要 |
표면 결함의 체적을 고정밀도로 측정할 수 있는 결함 검사 장치(1)를 제공한다. 결함 검사 장치(1)는, 검사 대상의 화상을 촬상하는 촬상 장치(3)와, 화상에 대하여 서로 다른 제1 및 제2 2치화 역치를 이용하여 제1 및 제2 2치화 처리를 행함으로써, 화상 중의 동일한 결함에 대하여 제1 및 제2 크기를 산출하는 2치화 처리부(11)와, 제1 크기에 대한 제2 크기의 제1 비율을 산출하는 비율 산출부(12)와, 제1 비율에 따라 결함의 깊이를 판정하는 깊이 판정부(13)를 구비한다. |
