| 摘要 |
【課題】簡素な構成でロードロック室内の基板容器からの蓋体の着脱、蓋体が取り外された基板容器からの基板の出し入れを行うことが可能なロードロック装置などを提供する。【解決手段】ロードロック装置２は、真空搬送室に対して連通口２１１を介して接続され、内部の圧力を大気圧状態と、真空圧状態とに切り替え可能なロードロック室を備え、ロードロック室本体２１は、着脱自在な蓋体６２が側面に設けられた基板容器６の搬入出が行われる搬入出口２１２と、その開閉を行う開閉扉２２とを備え、蓋体着脱機構４は前記連通口２１１と上下方向に並ぶ高さ位置に設けられ、前記基板容器に対する蓋体の着脱を実行する。昇降機構３は、基板容器６が載置される載置台３１を備え、基板容器６の蓋体６２側の側面を、連通口２１１に対向する高さ位置と、蓋体着脱機構４に対向する高さ位置とに移動させるように載置台３１を昇降させる。【選択図】図２ |
