| 摘要 |
チップのみの特徴でその位置を高速に特定でき、ダイシングシートの伸張によるチップの変位方向及び変位量を考慮した演算をすることで、ダイシングシートに部分的なゆがみがあるような場合でも、チップのピックアップ状態の検証を、高速且つ正確に行う。チップＳをピックアップした後のダイシングシートＤの画像を生成する合成画像データと、ピックアップすべき又はピックアップすべきでないチップＳの画像を生成するマップ画像データとに基づいて、ダイシングシートＤの伸張によるチップＳの変位方向及び変位量を演算する変位演算部１０５ｃ、変位方向及び変位量に基づいて、合成画像データを補正する補正部１０５ｄ、合成画像データ及び前記マップ画像データを照合することにより、一致又は不一致を判定する判定部１０５ｆを有する。 |
