| 摘要 |
本開示のいくつかの態様は、基板デバイスと、基板支持体表面と、基板デバイスを基板支持体表面上に位置決めする基板ハンドラとを有するシステムに関する。基板デバイスおよび基板支持体表面は、対の片方の粗位置ユニットと精密位置ユニットとを有することができる。システムは、第１の粗位置ユニットと第２の粗位置ユニットとの間の粗位置オフセットを測定し、粗位置オフセットに基づいて基板デバイスを基板支持体表面上に再位置決めし、続いて、第１の精密位置ユニットと第２の精密位置ユニットとの間の精密位置オフセットを測定することができる。いくつかの実装形態において、基板デバイスは、さらに配置するためのフィードバックとして位置情報を通信するために、ワイヤレス通信リンクを介して基板ハンドラに一体的に結合される。 |
