| 摘要 |
【課題】単結晶インゴットの方位調整機構を具備するワイヤソーを使用せずとも、外段取り方式で方位規格が厳しい仕様のインゴットの切断を実現可能なワークホルダー及びこれを用いたワークの切断方法を提供する。【解決手段】ワイヤソーでワークを切断する際に用いられるワークホルダー１であって、ワークＷに当板３を介して接着固定されるワークプレート２と、ワークプレート２を支持するホルダー本体４とを具備し、ワークの径方向のうち、ワークプレート２のワーク接着面に平行な方向をｘ軸方向、垂直な方向をｙ軸方向とした場合、ワークプレート２は、ｘ軸方向のワークの結晶方位軸のズレを修正してワークＷに接着固定され、ワークホルダー１は、ワークプレート２をｙ軸方向に傾けることで、ワークプレート２に保持されるワークＷのｙ軸方向の傾きを調整し、調整された傾きでワークプレート２及びワークＷを前記ホルダー本体に固定できるワークホルダー１。【選択図】図１ |
