| 摘要 |
【課題】高電圧下でのリーク電流を抑制することにより、テラヘルツ波の発生効率を向上できる光伝導アンテナ素子を提供する。【解決手段】光伝導アンテナ素子は、テラヘルツ波を発生させる光伝導アンテナ素子であって、基板と、基板上に設けられた第１半導体層３と、第１半導体層３上に設けられた絶縁層１０と、絶縁層１０上に設けられた電極２０と、を備える。電極２０は、略平行に延在する一対の配線部２１と、一対の配線部２１と一体に所定のギャップをもって対向配置された一対のアンテナ部２２と、を有する。絶縁層１０は、アンテナ部２２間のギャップ領域Ｇを含めて開口する開口部１１を有する。電極２０において、アンテナ部２２の少なくとも先端部分２２ａが開口部１１内で第１半導体層３に接し、残余部分が絶縁層１０上に位置している。【選択図】図３ |
