集合基板、基板装置及び光学装置の製造方法

摘要

【課題】本発明は、複数の溝を形成する工具と異なる工具で孔又は凹部を形成する場合に比べて、孔又は凹部と複数の単位基板の外形との位置関係が明確な集合基板の製造方法の提供を目的とする。【解決手段】集合基板の製造方法は、位置決めした大型基板に、素子が実装される複数の単位基板の外形を画定する複数の溝を工具により形成しつつ、孔又は凹部を該工具により形成する工程を含む。【選択図】図６