Vorrichtung zur Formung von Laserstrahlung sowie Beleuchtungssytem

摘要

Eine Vorrichtung (V1) zur Formung von Laserstrahlung umfasst: ein Substrat (S1), durch das die Laserstrahlung (LR) von einer Eintrittsseite in Richtung eines Beleuchtungsfeldes (ILR) hindurchtreten kann, wobei das Substrat eine erste optisch funktionale Substratoberfläche (S1-1) aufweist, an der mehrere konvexe Linsenflächen (KS) ausgebildet sind, die in einer ersten Richtung (Y) nebeneinander liegen und in der ersten Richtung eine positive erste Krümmung und eine Breite (BK) aufweisen und die weiterhin in einer zur ersten Richtung senkrechten zweiten Richtung (X) keine Krümmung oder eine zweite Krümmung aufweisen, die schwächer als die erste Krümmung ist, und in der zweiten Richtung eine Länge aufweisen, die ein Vielfaches der Breite beträgt. In der ersten Richtung (Y) unmittelbar benachbart zueinander liegende konvexe Linsenflächen (KS) gehen jeweils in einem zwischen den konvexen Linsenflächen liegenden Übergangsbereich (TR) ineinander über. Eine Querschnittsgestalt mindestens einer der konvexen Linsenflächen (KS) und/oder von in den Übergangsbereichen (TR) liegenden Abschnitten der Substratoberfläche (S1-1) in einer senkrecht zur zweiten Richtung (X) verlaufenden Querschnittsebene variiert entlang der zweiten Richtung systematisch derart, dass die konvexen Linsenflächen (KS) und/oder die in den Übergangsbereichen (TR) liegenden Abschnitte der Substratoberfläche schräg zur zweiten Richtung verlaufende Flächenabschnitte (FA) aufweisen.