三次元屈折率測定方法および三次元屈折率測定装置

摘要

【課題】三次元屈折率測定方法および三次元屈折率測定装置。【解決手段】波面制御器を活用した三次元屈折率測定方法は、波面制御器（ｗａｖｅｆｒｏｎｔ ｓｈａｐｅｒ）を使用して入射光の走査角度および波面パターンのうち少なくとも１つを変更してサンプルに入射させる段階、前記サンプルを通過した二次元光学場を、干渉計を利用して少なくとも１つ以上の前記入射光にしたがって測定する段階、および測定された前記二次元光学場の情報によって三次元屈折率映像を取得する段階を含む。【選択図】図２