| 摘要 |
【課題】レジスト液の温度調整を、簡単な構成で安価に行う温度調整機構を提供する。【解決手段】レジスト液収容器３１０にノズル２４１を設けると共に、このノズル２４１内に、少なくともレジスト塗布工程１回分のレジスト液を貯留させる。レジスト塗布工程を行っていないとき、ノズル２４１の待機位置で、このノズル２４１に所定温度のガスを吹き付けることによって、レジスト液の温度を調整する。そして、レジスト塗布工程で、シリンジ部３１１からノズル２４１に１回分のレジスト液が抽出されると、ノズル２４１からは、温度調整されたレジスト液が、１回分だけ吐出される。このとき、ノズル２４１には、シリンジ部３１１から供給されたレジスト液が新たに貯留される。新たに貯留されたレジスト液は、ノズルが待機位置に戻ったときに、ガスによって温度調整される。【選択図】図３ |
