发明名称 GRID PRODUCTION METHOD THEREFOR AND ION BEAM PROCESSING DEVICE
摘要 가공이 용이하며, 구멍의 가공 시에 구멍의 벽면에 탄소 섬유의 돌출부가 형성되기 어려운 그리드를 제공한다. 구멍(202)을 갖는 판상의 그리드(200)로서, 상기 그리드(200)는, 상기 그리드(200)의 면 방향에 랜덤한 방향으로 배치된 탄소 섬유를 포함하는 카본-카본 콤퍼짓을 재료로 포함한다. 상기 그리드(200)의 구멍(202)은, 상기 탄소 섬유를 절단하도록 형성되어 있다.
申请公布号 KR20170012395(A) 申请公布日期 2017.02.02
申请号 KR20167036134 申请日期 2015.11.25
申请人 캐논 아네르바 가부시키가이샤 发明人 츠지야마 마사시;나카가와 유키토;야스마츠 야스시
分类号 H01J37/04;H01J27/16;H01J37/08 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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