| 摘要 |
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저빔 경로조절장치는 레이저빔이 발생시키는 레이저빔발진기와 기판 사이에 설치되어, 레이저빔을 기판으로 조사하는 제 1 에지렌즈와 제 2 에지렌즈가 구비된 빔경로부; 빔경로부를 지지하는 지지부; 및 빔경로부와 이격되어 지지부에 설치되고, 빔경로부에 연결되어 제 1 에지렌즈와 제 2 에지렌즈로 각각 회전력을 제공하는 구동부를 포함하고, 구동부는 제 1 에지렌즈와 제 2 에지렌즈로 제공되는 회전속도를 개별적으로 제어하여 제 1 에지렌즈와 제 2 에지렌즈를 통과하는 레이저빔의 빔각을 조절함으로써, 레이저빔에 의해 기판에 형성되는 절단원의 크기를 조절하여, 절단원의 연속진행으로 인해 기판에 형성되는 절단선의 두께를 조절하는 것이 바람직하다. |
