| 摘要 |
耐久性に優れた炭化ケイ素−炭化タンタル複合材を提供する。炭化ケイ素−炭化タンタル複合材１は、表層の少なくとも一部が第１の炭化ケイ素層１２により構成された本体１０と、炭化タンタル層２０と、第２の炭化ケイ素層１３とを備える。炭化タンタル層２０は、第１の炭化ケイ素層１２の上に配されている。第２の炭化ケイ素層１３は、炭化タンタル層２０と第１の炭化ケイ素層１２との間に配されている。第２の炭化ケイ素層１３は、Ｘ線光電子分光法によって測定されるＣ／Ｓｉ組成比が１．２以上である。第２の炭化ケイ素層１３は、ラマン分光法によって測定される炭素のＧバンド及びＤバンドのピーク強度比Ｇ／Ｄが、１．０以上である。 |
