| 摘要 |
【課題】引っ張り応力に対し耐性を有し、割れや破壊が防止されて、可撓性を備えるサファイア単結晶リボンとその製造方法を提供する。【解決手段】スリットを有すると共に、幅方向が平行に配置されたダイを坩堝に収容し、坩堝に酸化アルミニウム原料を投入して加熱し、酸化アルミニウム原料を坩堝内で溶融して酸化アルミニウム融液を用意し、スリットを介してスリット上部に酸化アルミニウム融液溜まりを形成し、そのスリット上部の酸化アルミニウム融液に種結晶を接触させて種結晶を引き上げることで、所望の主面と長手方向の寸法を有し、可撓性を有するAs-grown単結晶のサファイア単結晶リボンを成長させる。成長形成されたサファイア単結晶リボンの表面上にはマイクロクラックを有さないものとする。【選択図】図１ |
