| 摘要 |
【課題】ターゲットのスパッタ面の温度を所定範囲に亘って測定することが可能な温度測定方法及びスパッタリング装置を提供する。【解決手段】真空チャンバ１内に配置されるターゲット３１のスパッタリングされる表面をスパッタ面３１ａとし、スパッタ面の温度を測定する本発明の温度測定方法は、スパッタ面と平行な面内でスパッタ面の所定の範囲を横切って移動する真空チャンバ内の可動部品たる搬送ロボットＲに温度検出手段６を設け、スパッタリングが終了した後に、可動部品をスパッタ面に対して相対移動させながら、温度検出手段によりスパッタ面の温度を測定する。【選択図】図２ |
