发明名称 Messgerät und Beobachtungsgerät
摘要 Messgerät zum Messen einer Oberfläche eines Messobjektes, das an einem vorbestimmten Messpunkt angeordnet ist, wobei das Messgerät umfasst: ein Beleuchtungsgerät zum Bestrahlen der Oberfläche des Messobjekts mit einem Licht mit einer ersten Lichtquellenverteilung und einem Licht mit einer zweiten Lichtquellenverteilung; einen Bildabschnitt zum Abbilden der Oberfläche des Messobjekts, das mit dem Licht durch das Beleuchtungsgerät bestrahlt wird; und einen Messverarbeitungsabschnitt zum Erhalten einer Information über einen Lichtreflexionswinkel an dem Messpunkt auf der Oberfläche des Messobjektes unter Verwendung eines Bildes, das durch den Bildabschnitt abgebildet wird, wobei das Beleuchtungsgerät eine Mehrzahl von ersten spezifischen Bereichen aufweist, von denen jeder eine Mehrzahl von Lichtemissionselementen in einem Abschnitt einer ersten Ebene umfasst, die durch den Messpunkt läuft, die Mehrzahl von ersten spezifischen Bereichen zueinander gleich in einer Länge eines Bogens auf der ersten Ebene sind, wenn diese auf einen Kreis mit einem Einheitsradius mit dem Messpunkt als ein Zentrum projiziert werden, die Mehrzahl von ersten spezifischen Bereichen sich voneinander in einer Position eines Lichtemissionszentrums unterscheiden, wenn ein Punkt auf dem ersten spezifischen Bereich, der auf das Zentrum des Bogens projiziert wird, als das Lichtemissionszentrum des ersten spezifischen Bereichs definiert wird, und wenn Strahldichten in der ersten Lichtquellenverteilung und der zweiten Lichtquellenverteilung in einer Richtung zu dem Messpunkt von dem Lichtemissionselement, das an einem Winkel θ lokalisiert ist, wenn dieses von dem Messpunkt aus betrachtet wird, als L11(θ) und L12(θ) auf der ersten Ebene ausgedrückt werden, ...
申请公布号 DE112010001574(B4) 申请公布日期 2017.02.02
申请号 DE20101101574T 申请日期 2010.04.09
申请人 Omron Corp. 发明人 Ohnishi, Yasuhiro;Kimachi, Masatoshi;Suwa, Masaki;Nayar, Shree
分类号 G01B11/24;G01B11/30 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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