| 摘要 |
【課題】基板の寿命を延ばすこととスループットを向上させることを目的とする。【解決手段】基板に処理を施す処理室と、基板を収納する第１及び第２の基板収納容器と、前記処理室と前記第１及び第２の基板収納容器とを連結し、基板を搬送する搬送室とを備えた基板処理装置における基板収納方法であって、前記第１の基板収納容器に収納された未処理基板を前記第２の基板収納容器に搬送する第１ステップと、前記第２の基板収納容器に収納された未処理基板を前記処理室に搬送し、前記未処理基板を処理する第２ステップと、前記未処理基板を処理した後の処理済基板を前記処理室から前記第１の基板収納容器に搬送する第３ステップと、前記第１の基板収納容器内に不活性ガスを導入する第４ステップと、を有する基板収納方法が提供される。【選択図】図１ |
