| 摘要 |
閉鎖キャビティ（２０）内において少なくとも１つの高周波（ＲＦ）供給部（２６Ａ−Ｄ）を生成するデバイス（１０）を較正する方法は、少なくとも１つのＲＦ供給部（２６Ａ−Ｄ）における帯域幅の中で、少なくとも１つの周波数サブセットを選択するステップと、少なくとも１つの周波数サブセットのそれぞれに関して、少なくとも１つのＲＦ供給部（２６Ａ−Ｄ）に対する入力電力を設定するステップと、サブセット周波数のそれぞれにおける入力電力により少なくとも１つのＲＦ供給部（２６Ａ−Ｄ）を作動させるステップと、少なくとも１つのＲＦ供給部における出力電力データ（１１４）をサンプリングするステップと、少なくとも１つのＲＦ供給部の帯域幅にわたって、サンプリングされた出力電力データを補間するステップと、少なくとも１つのＲＦ供給部の帯域幅にわたる出力電力データおよび補間出力データをルックアップテーブル（１１８）に記憶するステップとを含む。 |
