| 摘要 |
【課題】圧電体層の材料として（１−ｘ）（Ｎａ・Ｂｉ）ＴｉＯ３・ｘＢａＴｉＯ３の組成の非鉛の材料を用いた場合に電圧印加時の変位量を顕著に高めることが可能な圧電体素子並びにそれを用いたアクチュエータ、インクジェットヘッドおよびインクジェット装置を提供する。【解決手段】圧電体素子１００は、第１の電極１０１と、第１の電極１０１の上側に配置された第２の電極１０４との間に、（００１）もしくは（１００）の面方位の結晶配向を有する酸化物層１０２ａ〜１０２ｃと、酸化物層１０２ａ〜１０２ｃの上面に形成された（１−ｘ）（Ｎａ・Ｂｉ）ＴｉＯ３・ｘＢａＴｉＯ３の組成からなる圧電体層１０３ａ〜１０３ｃとの組が複数積層されて配置されている【選択図】図１ |
