| 摘要 |
【課題】本発明は、レーザ加工において、ガルバノミラーの走査エリア内でレーザエネルギーがばらつくのを抑え、結果的に高品質な穴明け加工を行えるようにすることを目的とする。【解決手段】ガルバノミラーの走査によって形成される領域を複数のブロックに論理的に分割して当該ブロック毎に前記音響光学変調器の出力を制御するための制御情報を記憶させておき、前記走査を行う場合に当該走査の位置に対応したブロックの前記制御情報を読み出し、当該制御情報に基づいて前記音響光学変調器の出力を制御することを特徴とする。【選択図】図１ |
