发明名称 データ補正装置、描画装置、検査装置、データ補正方法、描画方法、検査方法およびプログラム
摘要 【課題】データブロックに含まれるポリゴンデータのパターンと、当該データブロックが参照する他のデータブロックのパターンとを個別に補正する。【解決手段】設計データ7に含まれる複数のデータブロック71のうち、一の注目パターンを示す注目データブロックが、注目パターンの一部のパターンを示すポリゴンデータ711と、注目パターンの他の一部のパターンを示す参照データブロックの参照を指示する参照指示情報とを含む。設計データの補正では、注目データブロックから参照指示情報が実質的に削除され、参照指示情報が削除された注目データブロックと、参照データブロックとが個別に補正される。補正済み注目データブロックが示すパターンと補正済み参照データブロックが示すパターンは合成される。これにより、注目データブロックに含まれるポリゴンデータが示すパターンと、参照データブロックが示すパターンとが個別に補正される。【選択図】図5
申请公布号 JP2017026942(A) 申请公布日期 2017.02.02
申请号 JP20150147785 申请日期 2015.07.27
申请人 株式会社SCREENホールディングス 发明人 山田 亮;清水 嘉泰
分类号 G03F7/20;H05K3/00;H05K3/06 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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