| 摘要 |
【課題】物体の形状を計測する精度の点で有利な計測装置を提供する。【解決手段】物体の形状を計測する計測装置であって、所定方向に周期を有するパターン光を投影された前記物体を撮像して画像データを得る撮像部と、前記画像データに基づいて、前記形状の情報を得る処理を行う処理部と、を有し、前記処理部は、前記画像データに対して、互いに周期が異なる少なくとも２組の基準データを適用し、該少なくとも２組のそれぞれに関して位相を得、前記少なくとも２組に関してそれぞれ得られた少なくとも２つの位相と、該２つの位相に対応する補正値とに基づいて、前記物体上における前記パターン光の位置を得る、ことを特徴とする計測装置を提供する。【選択図】図１ |
