| 摘要 |
【課題】光導波路に対する電極の位置精度が高い光変調器を効率よく製造可能な光変調器の製造方法、光導波路に対する電極の位置精度が高い光変調器、および、前記光変調器を備える画像表示装置を提供すること。【解決手段】変調器３０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂの製造方法は、基板３０１の上面に絶縁層を形成する工程Ｓ１と、絶縁層をパターニングして第１の層８１を得る工程Ｓ２と、第１の層８１をマスクとして、基板３０１にプロトン交換処理を施し、光導波路３０２を形成する工程Ｓ３と、第１の層８１の上面に第２の層８２を形成する工程Ｓ４と、第２の層８２の上面に第３の層８３を形成する工程Ｓ５と、第３の層８３の上面に導電層３０３０を形成する工程Ｓ６と、第１の層８１に含まれるアライメントパターン８１１を基準にして導電層３０３０をパターニングし、電極３０３を得る工程Ｓ７と、を有する。【選択図】図８ |
