发明名称 基板リフトピンアクチュエータ
摘要 【課題】リフトピンアクチュエータを提供する。【解決手段】リフトピンアクチュエータは、ハウジング210を有する。ハウジングは、内部容積を有する。トラック240は、内部容積内に配置され、ハウジングに結合される。中心シャフト220は、ハウジングの内部容積内に少なくとも部分的に配置される。ガイドは、トラックに移動自在に結合される。少なくとも1つの内部ベローズ250は、内部容積内に配置され、内部ベローズは、中心シャフトとハウジングとの間にシールを形成する。弾性部材252は、内部容積内に配置され、中心シャフトをハウジング内に後退させる力を印加するように構成される。入口ポート282は、内部ベローズとハウジングとの間の内部容積内に流体を導入するように構成される。流体は、ハウジングに対して中心シャフトを伸長させる弾性部材に対抗する力を発生させる。【選択図】図2
申请公布号 JP2017028248(A) 申请公布日期 2017.02.02
申请号 JP20160087143 申请日期 2016.04.25
申请人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドAPPLIED MATERIALS,INCORPORATED 发明人 マイケル ディー ウィルワース;ロベルト セサール コトレアール
分类号 H01L21/683;H01L21/265 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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