| 摘要 |
錘（２３１，２３２）と、支持部（２２）と、ピエゾ抵抗素子が設けられた梁（２４１Ａ〜２４１Ｃ，２４２Ａ〜２４２Ｃ）と、を備え、錘（２３１，２３２）は、凸部（２３１Ａ，２３２Ｂ）と凹部（２３１Ｂ，２３１Ｃ，２３２Ｂ，２３２Ｃ）とを有し、支持部（２２）は、凸部（２２１Ｂ，２２１Ｃ，２２１Ｂ，２２１Ｃ）と凹部（２２１Ａ，２２２Ａ）を有し、梁（２４１Ａ，２４２Ａ）は、凸部（２３１Ａ，２３２Ａ）と凹部（２２１Ａ，２２２Ａ）とに接続され、梁（２４１Ｂ，２４２Ｂ）は、凹部（２３１Ｂ，２３２Ｂ）と凸部（２２１Ｂ，２２２Ｂ）とに接続され、梁（２４１Ｃ，２４２Ｃ）は、凹部（２３１Ｃ，２３２Ｃ）と凸部（２２１Ｃ，２２２Ｃ）とに接続されている、加速度センサ（２１）。 |
