耐久性を向上させたエキシマレーザ用素子

摘要

【課題】 ２５０ｎｍ未満で作動する高出力レーザリソグラフィシステムで使用される素子に関し、特に、素子の耐久性を向上させるように選択された材料から成るコーティングを備えた素子と、長寿命の素子を作成する方法を提供する。特に、二酸化ケイ素、酸化アルミニウムまたはフッ素系二酸化ケイ素がコーティングされた、格子およびミラーに関する。【解決手段】 高エネルギーのイオンプラズマによる衝撃を与えながら被着させることによってコーティングの耐久性の向上を図った。【選択図】図１