高純度１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテン

摘要

本発明は、純度９９．９重量％以上で、且つ、有機塩素系化合物の含有量が３５０重量ｐｐｍ以下であることを特徴とする１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンである。本発明によれば、半導体向けのプラズマ反応用ガスとして好適な高純度の１Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンテンが提供される。