電子デバイス製造において基板を搬送するためのロボット装置、駆動アセンブリ、及び方法

摘要

基板搬送ロボット装置が開示される。ロボット装置は、上部アームと、上部アームに対して独立的に回転可能な前腕部と、前腕部に対して独立的に回転可能なリスト部材と、基板を運ぶよう適合したエンドエフェクタとを含みうる。いくつかの態様では、独立した回転は、第１駆動プーリ上に回転するように装着された第２駆動プーリを有するロボット駆動アセンブリによって提供される。別の態様では、ベースに装着されたプーリ、及びウェブに装着されたプーリを含むロボット駆動アセンブリが、開示される。ロボット駆動アセンブリ及び操作方法が、多数の他の態様と同様に、提供される。【選択図】図１Ｄ