| 摘要 |
本開示の実施形態は、微少電気機械システム（ＭＥＭＳ）検知装置に関し、該装置は、光ビームを発生するように構成されたレーザ装置と、光ビームを受け取り出力するように構成された第１の導波路と、第１の導波路と端面同士がアライメントされた第２の導波路とを有する。第２の導波路はアライメントされた端面を通した光学的結合を介して、第１の導波路からの光ビームの少なくとも一部を受け取るように構成されていてもよい。第１または第２の導波路は、装置の慣性変化に応じて可動に構成され、第１または第２の導波路の動きにより、慣性変化の尺度を示す第２の光ビームの一部の光強度が対応して変化する、他の実施形態は説明するか請求項に記載した。 |
