| 摘要 |
본 발명은 기판 스피닝 장치에 관한 것으로, 원형 디스크 형상의 기판을 스핀 회전시키는 동안에 접촉하는 접촉부와, 상기 접촉부로부터 하방으로 요입 형성되어 상기 기판의 가장자리의 일부를 수용하는 단턱면이 구비된 회전 지지체를; 포함하여 구성되어, 회전 지지체에 의하여 기판을 스핀 회전시키면서 기판의 가장자리가 회전 지지체의 접촉부에 약간 파여들어간 상태로 밀착되어 있더라도, 기판의 가장자리의 일부를 수용하는 단턱면이 기판의 가장자리 하측에 정렬되면, 기판의 저면은 물리적으로 지지되어 있지 않고 뜬 상태가 되므로, 기판의 가장자리가 회전 지지체의 접촉부에 끼게 되더라도, 기판의 자중에 의하여 기판과 회전 지지체의 접촉부 사이의 끼임 상태를 자연스럽게 해제함으로써, 기판이 추락하는 등의 오류를 없애 그 다음 공정으로 기판을 오류 없이 이송하는 신뢰성을 향상시키는 기판 스피닝 장치를 제공한다. |
