| 摘要 |
층을 형성하는 방법은 그 위의 증착을 위해 적응되는 적어도 하나의 표면을 갖는 기판을 제공하는 단계; 및 기판의 표면을 향해 입자 빔을 지향시키는 단계를 포함하며, 입자 빔은 적당히 충전된 이온들(moderately charged ions: MCIs)을 포함하며, 실질적으로 모든 MCI들은 독립적으로 ±2 내지 ±6의 전하들 및 약 200 eV보다 크지 않은 운동 에너지들을 가지며, MCI들은 기판 상에 층을 형성하기 위해 기판의 표면으로의 약 30Å보다 크게 관통하지 않는다. |
