发明名称 Halbleitervorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung
摘要 Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Halbleitervorrichtung (100c) enthalten: mindestens eine erste Kontaktinsel (104) auf einer Vorderseite (100f) der Halbleitervorrichtung (100c); mindestens eine zweite Kontaktinsel (114) auf der Vorderseite (100f) der Halbleitervorrichtung (100c); einen Schichtstapel, der mindestens teilweise über der mindestens einen ersten Kontaktinsel (104) angeordnet ist, wobei die mindestens eine zweite Kontaktinsel (114) mindestens teilweise frei von dem Schichtstapel ist; wobei der Schichtstapel mindestens eine Adhäsionsschicht (102a) und eine Metallisierungsschicht (102m) enthält; und wobei die Metallisierungsschicht (102m) eine Metalllegierung enthält, und wobei die Adhäsionsschicht (102a) zwischen der Metallisierungsschicht (102m) und der mindestens einen ersten Kontaktinsel (104) angeordnet ist, um die Metalllegierung der Metallisierungsschicht (102m) an der mindestens einen ersten Kontaktinsel (104) anzuhaften.
申请公布号 DE102016113868(A1) 申请公布日期 2017.02.02
申请号 DE201610113868 申请日期 2016.07.27
申请人 Infineon Technologies AG 发明人 Kramp, Stefan
分类号 H01L23/482;H01L21/60;H01L23/488 主分类号 H01L23/482
代理机构 代理人
主权项
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