发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Mehrzahl an Glaselementen, Verfahren zum Herstellen eines optischen Elements und Array von Glaselementen in einem Glassubstrat
摘要 Ein Verfahren zum Herstellen einer Mehrzahl von Glaselementen umfasst ein Inkontaktbringen einer ersten Hauptoberfläche (110) eines Glassubstrats (100) mit einer ersten Arbeitsfläche (210) eines ersten Formsubstrats (200), wobei die erste Arbeitsfläche (210) mit einer Mehrzahl erster vorstehender Teile (250) versehen ist, und ein Inkontaktbringen einer zweiten Hauptoberfläche (120) des Glassubstrats (100) mit einer zweiten Arbeitsfläche (310) eines zweiten Formsubstrats (300), wobei die zweite Arbeitsfläche (310) mit einer Mehrzahl zweiter vorstehender Teile (320) versehen ist. Das Verfahren umfasst ferner ein Steuern einer Temperatur des Glassubstrats (100) auf eine Temperatur oberhalb einer Glasübergangstemperatur, um die Mehrzahl an Glaselementen zu schaffen, ein Entfernen des ersten und des zweiten Formsubstrats (200, 300) von dem Glassubstrat (100) und ein Trennen benachbarter der Mehrzahl von Glaselementen.
申请公布号 DE102016113827(A1) 申请公布日期 2017.02.02
申请号 DE201610113827 申请日期 2016.07.27
申请人 Infineon Technologies AG 发明人 Brockmeier, Andre;Breymesser, Alexander;von Koblinski, Carsten;Santos Rodriguez, Francisco Javier;Zorn, Peter
分类号 C03B11/08;G02B1/00;G02B6/13;H01L27/32;H01L51/50 主分类号 C03B11/08
代理机构 代理人
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