| 发明名称 |
グラフェン製造方法、グラフェン製造装置及びグラフェン製造システム |
| 摘要 |
【課題】密度の均一な高品質のグラフェンを製造することができるグラフェン製造方法を提供する。【解決手段】炭素含有触媒金属膜２６へ炭素を含有させながら、当該炭素含有触媒金属膜２６をウエハＷの表面に形成し、形成された炭素含有触媒金属膜２６を加熱し、加熱された炭素含有触媒金属膜２６を冷却して炭素含有触媒金属膜２６からグラフェン２７を析出させる。【選択図】図６ |
| 申请公布号 |
JP2017024926(A) |
申请公布日期 |
2017.02.02 |
| 申请号 |
JP20150142460 |
申请日期 |
2015.07.16 |
| 申请人 |
東京エレクトロン株式会社 |
发明人 |
西出 大亮;松本 貴士;井福 亮太 |
| 分类号 |
C01B32/15;C01B32/18;C01B32/182 |
主分类号 |
C01B32/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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