| 摘要 |
【課題】圧力発生室と圧電体との位置ずれをチップ内の分布として容易に精度良く検査できる液滴吐出ヘッド。【解決手段】ノズル孔４１に連通する複数の圧力発生室３１ｃ及び圧力発生室３１ｃに連通する複数の個別液室３１ａを有する流路形成基板２０と、流路形成基板２０上に形成される振動板２１と、振動板２１上に形成され、振動板２１を振動させるとともに、圧力発生室３１ｃ内の圧力を変化させる圧電体２２ｂを有する圧電素子２２と、振動板２１及び圧電素子２２側で、かつ、流路形成基板２０と対向して配置される保護基板１０と、を有する液滴吐出ヘッドであって、保護基板１０は、保護基板１０の厚み方向に貫通する液供給路１７を有し、液供給路１７の開口部は、複数の個別液室３１ａに連通し、流路形成基板２０上であって、かつ、液供給路１７の開口部内の領域に、圧電素子２２の圧電体２２ｂと同じ材料で形成されたずれ検査用圧電体パターンを有する。【選択図】図２ |
