| 摘要 |
플라즈마 내성을 가지고 경량인 금속창을 구비한 플라즈마 처리 장치를 제공한다. 처리 공간(100) 내의 피처리 기판(G)에 대하여 플라즈마 처리를 실행하는 플라즈마 처리 장치(1)는 접지된 금속제의 처리 용기(10, 11) 내에 피처리 기판(G)이 배치되는 배치대를 구비하고, 복수의 도전성의 부분창(30)을 배열하여 이루어지는 금속창(3)은 처리 용기(10, 11)의 상면측의 개구를 폐색하여 처리 공간(100)을 형성하고, 이웃하는 부분창(30)끼리의 사이에는, 수지제의 절연 부재(31)가 마련되어 있다. 세라믹스제의 절연 부재 커버(20)는 절연 부재(31)의 처리 공간측의 면을 덮고, 금속창(3)의 상방측에는 유도 결합에 의해 처리 가스를 플라즈마화하기 위한 플라즈마 안테나(5)가 마련되어 있다. |
