发明名称 SAW SAW CAPACITOR FOR SAW FILTER SAW FILTER AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF
摘要 본 발명의 두 개의 전극이 금속층으로 형성되는 SAW 필터의 커패시터는 IDT 전극이 형성되어 있는 기판에 형성되어 커패시터의 하나의 전극을 이루는 제1 금속층과 IDT 전극 및 제1 금속층 상부에 형성되는 절연층과 절연층 상부에 형성되며 커패시터의 또 다른 전극을 이루는 제2 금속층을 포함한다. 본 발명의 두 개의 전극이 금속층으로 형성되는 SAW 필터의 커패시터는 본 발명은 SAW 소자의 저역 차단 특성을 개선 시킬 수 있는 효과가 있으며 공정을 추가하지 않으면서도 저역 차단 특성을 개선한 커패시터를 구현할 수 있는 효과가 있다.
申请公布号 KR101700840(B1) 申请公布日期 2017.02.01
申请号 KR20140158049 申请日期 2014.11.13
申请人 (주)와이솔 发明人 유동준
分类号 H01L27/108;H01L21/8242 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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